深圳方達(dá)硅片研磨機(jī)研磨是這樣的一個(gè)流程呢？

硅是硬而脆的一種材料，晶體生長(zhǎng)后的硅錠對(duì)半導(dǎo)體制造來(lái)說(shuō)用處是比較小的，圓柱形的單晶硅錠經(jīng)過(guò)一系列的處理過(guò)程，最后才形成硅片 ，從而達(dá)到半導(dǎo)體制造的嚴(yán)格要求。硅片研磨機(jī)制備的基本流程

1. 整型處理：是第一個(gè)工藝，是對(duì)單晶硅錠做的所以準(zhǔn)備步驟

2. 去掉兩端:第一步先把硅單面錠的兩端去掉，在用四探針檢查電阻確定硅單晶錠達(dá)到合適的雜質(zhì)均勻程度。

3. 徑向研磨：對(duì)于半導(dǎo)體制造中的硅片來(lái)說(shuō)精確的直徑控制是很關(guān)鍵的，所以硅單晶錠都要長(zhǎng)的稍微大一點(diǎn)的進(jìn)行徑向研磨。

加工的步驟：1.切片 2.激光識(shí)別 3.倒角 4.磨片 5.腐蝕 6.背損傷 7.邊緣鏡面拋光 8.預(yù)熱清洗 9.抵抗穩(wěn)定-退火 10.背封 11.粘片 12.拋光 13.檢查前清洗 14.外觀檢查 15. 金屬清洗 16.插片 17.激光檢查 18.包裝貨運(yùn)

制備硅片的是化學(xué)機(jī)械平坦化，它的目標(biāo)就是高度平整的光滑表面，硅片在拋光盤之間的行星式運(yùn)動(dòng)軌跡讓硅片表面平坦并且兩面平行，最后的硅片的兩面很像鏡子一樣。

 最后的清洗步驟是必須達(dá)到一個(gè)潔凈的狀態(tài)。清洗規(guī)范在過(guò)去幾年都有很大的發(fā)展，讓硅片基本沒(méi)有顆粒和沾污的程度。