氧化鋁陶瓷片基片具有硬度高、脆性大、易產生裂紋，表面加工難度在，且加工后很難保證表面質量與完整性。為了讓陶瓷研磨機/拋光機能加工出優質的加工表面，氧化鋁陶瓷基片在進行加工前需要對基片進行清洗步驟如下：
1.將氧化鋁陶瓷基片浸沒入無水乙醇溶液中，放置十分鐘后取出，采用棉簽擦拭表面不潔凈處。這樣能去除基片表面原有的有機物等污染。
2.先用離子水沖洗被水乙醇溶液浸泡過的陶瓷基片表面，再把其放置在裝有支離子水的容器中進行超聲波清洗五分鐘，最后用潔凈空氣把基片吹干。
3.采用前面的方法把陶瓷盤清洗吹干后，放置于加熱器上進行加熱使陶瓷盤表面能夠達到有效熔化石蠟的溫度。
4.先將石蠟均勻的涂抹于陶瓷盤表面，石蠟熔化期間將氧化鋁陶瓷基片均勻地放置在陶瓷盤上。
5.使陶瓷基片完整穩定地貼在陶瓷盤上，再適合的單面或者雙面研磨拋光加工方式。為了能對氧化鋁陶瓷基片表面粗糙度，表面形態及厚度等原始數據進行有效的采集，應在加工前使用表面粗糙度儀等等設備每片陶瓷基片進行觀測與測量，方便得出有效的加工數據。
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