FD7004PA硅片研磨機

FD7004PA硅片研磨機

主要用途：

本設備主要用于藍寶石襯底、藍寶石外延片、硅片、陶瓷、石英晶體、其他半導體材料等薄形精密零件的單面高精密研磨及拋光。

設備特點：

1.本設備為單面精密研磨設備，采用先進的機械結構和控制方法，研磨加工效率高，運行穩定。

2.整機采用PLC+觸摸屏控制系統，設備參數設置和操作簡單方便，系統穩定性高。

3.主電機采用變頻調速控制，實現主機軟啟動、軟停機，降低設備運行沖擊，減少工件損傷。

4.工件研磨壓力采用氣缸加壓方式，通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環控制，保證極高的施壓精度與穩定性。

5.上壓盤采用主動驅動方式，在確保產品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統一性。

6.研磨盤與上壓盤都設置了冷卻水冷卻功能，在保證研磨液發揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。

7.設備自帶盤面修整機，盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。

設備參數：

設備圖片：

該設備磨拋效果：